ULVAC愛發科  多級羅茨型干泵 LR60  LR90 LR180 LR421 LR421-T

特點

低溫區域均熱化（LR系列）

在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控

用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

縮短備料下料室的排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）

ULVAC愛發科  多級羅茨型干泵  LR60  LR90 LR180 LR421 LR421-T

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