ULVAC愛發科  多級羅茨型干泵 HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

特點

高溫區域均熱化

實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結構，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉狀態相關的數據、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現集中監控

用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等

ULVAC愛發科  多級羅茨型干泵  HR60 HR90 HR300 HR600  HR1200

我司主打品牌明細表：

代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁禮、KAIJO 楷捷、OHM歐姆電機、NIPPONMUKI日本無機、SUIDEN瑞電、TACMINA泰克米納、AMANO安滿能、NIDEC-SHIMPO尼得

科新寶、OKK機床、AMADA天田、MRM、新熱工業SHINNETSU、 ATAGO愛拓、ARIMITSU有光工

業、SHOWASOKKI昭和測器、TOPCON拓普康、NIPPON GEAR千斤頂、Watty瓦蒂

化學品：SHINETSU信越化學、THREEBOND三鍵、TOAGOSEI東亞合成、三井化學MITSUI、KONISHI小西

設備類產品:ONIKAZE赤松、SHOWADENKI昭和電機、OSAWA大澤、TORAY東麗、EOLUS真空企業

株式會社、OKK大宮工業、KOTOHIRA琴平工業、REVOX萊寶克斯、SONIC索尼克、CCS光源、MASDAC隧道式烘烤爐、鈴與工業株式會社納豆生產設備、IKURATOOLS育良精機、ANLET安耐

特、Kitagawa北川、YOSHIKAWA吉川鐵工、NAKAMURA中村留、SEIBU西部、KIWA紀和機械、

SHIZUOKA靜岡鐵工所、KAN管制作所、TAKEDA武田機械、MEITOU名東化工、FRISTAM弗里森、IWAKI易威奇

FA自動化: KONSEI近藤、CKD喜開理、IMAO今尾、二宮電線NINOMIYA、TAIYO太陽電線、TONE前田、EYE巖崎、S-VSNAS、AND、microStone微石、USHIO牛尾、ETOH江藤、SONOTEC松

泰克、SUZUKI鈴木、MIRAI未來工業、COSMOS新宇宙（SDM-72、SDM-73）、KETT凱特、柴田

科學SIBATA、FUNATECH船越龍、SEN日森、CHUCK小林鉄工、SAKAGUCHI坂口電熱、帝國TEIKOKU、仲精機NAKASEIKI、SEM坂本、J-SCOPE、HOWA、SOHGOHKEISO綜合計裝、谷沢製作

所、豊中ホツト研究所、 日本へルメシール株式社、MOBECA、VECCL、TEAC、Morokoshi、OSAKA、MUTOH武藤、KINTSUNE、TOYOOKI豐興、HIROTAKA、U-Technology、KDS、ORGANO奧加諾、ONOSOKKI小野

小眾產品：IRI軟水機、USUTANI臼谷電子點焊機、CNK磁性分離器、HIMU 靜音消除器、NAC油水分離器、BL DYNAMICS氣泡發生裝置、工業CT無損檢測 國產（可提供技術支持與方案）、hibikicorp

新能源動力電池： 日本旭精工、熊谷理機

期待您的咨詢