ULVAC愛發科  螺桿型干式真空泵  LS120A LS300A LS600A LS1200A

特點

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時間可縮短約20%。

■標配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問題。極限壓力時的噪音值在61dB（A）以下，

　這是一個在運轉過程中也不會打擾到您的噪音等級（*1)）

■C規格標配的ECO-SHOCK技術是一種省電的愛發科技術。

　該技術可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)

■LS系列無需軸封氣體。以氮氣和空氣等的排氣為主的清潔工藝可降低運行成本（*3)

■希望進一步提高排氣速度的話，建議您搭配機械增壓泵使用。

　通過組合使用排氣速度可以達到120～1200m3/h

用途

LS系列有兩種規格。

首先是面向清潔工藝的規格。

為內置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。

具體來說，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規格。

具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發性藥液排氣等輕工藝用途。

具體來說諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業用途等

ULVAC愛發科  螺桿型干式真空泵  LS120A LS300A LS600A LS1200A

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