ULVAC愛發科  螺桿型干式真空泵  MS120A MS600A MS1200A

特點

通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

用途

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等

ULVAC愛發科  螺桿型干式真空泵  MS120A MS600A MS1200A

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